文章目录

1 低温泵工作原理

2 国外低温泵产品发展现状

2.1 CTI低温泵产品发展现状

    2.1.1 CTI On-Board系列低温泵

    2.1.2 CTI On-Board IS系列低温泵

    2.1.3 CTI On-Board IS XP低温泵

2.2 住友低温泵发展现状

    2.2.1 Marathon CP系列低温泵

    2.2.2 SICERA低温泵

2.3 CTI与住友低温泵组网差异

3 国产低温泵集成电路行业应用现状

4 低温泵发展趋势

5 结束语

文章摘要:以GM制冷机为核心部件的低温泵是一种超高真空获得设备，凭借其自身的特点与优势，已广泛应用于集成电路制造工艺与设备中。近年来，中国集成电路制造装备及成套工艺快速发展，作为重要零部件的低温泵需求量也随之增大。介绍了国内集成电路制造中进口低温泵产品的技术发展现状，并对比了不同产品的技术特点。阐述了国产低温泵进军集成电路制造业的历程与现状。

文章关键词:

论文DOI:10.13385/j.cnki.vacuum.2022.02.09

论文分类号:TN405;TB651

文章来源：《低温工程》 网址: http://www.diwengongcheng.cn/qikandaodu/2022/0424/747.html